油封旋片式真空泵是一種使用油封密封的旋片式真空泵,它主要由泵體、旋轉(zhuǎn)葉片、固定葉片、油封、進(jìn)氣口、出氣口、冷卻器等組成。
油封旋片式真空泵的工作原理類似于其他旋片式真空泵。當(dāng)泵體內(nèi)氣壓低于環(huán)境氣壓時(shí),氣體通過(guò)進(jìn)氣口進(jìn)入泵體內(nèi),被旋轉(zhuǎn)的葉片和固定葉片夾持和擠壓,從而使氣體不斷被壓縮和排出泵體,最終形成真空。
油封旋片式真空泵的油封密封系統(tǒng)主要由兩個(gè)油封組成,一個(gè)位于泵體內(nèi)部,防止油液進(jìn)入泵體;另一個(gè)位于泵體外部,防止氣體進(jìn)入泵體。油封在運(yùn)轉(zhuǎn)中不斷地承受著旋片式真空泵內(nèi)部的高速旋轉(zhuǎn)、壓力變化和油液的腐蝕等因素,因此需要定期維護(hù)和更換。
油封旋片式真空泵適用于高真空或者需要低污染的工作環(huán)境,如半導(dǎo)體制造、電子設(shè)備、航空航天等領(lǐng)域。在使用時(shí),需要注意及時(shí)更換油封,保證泵的密封性能和工作效率。同時(shí),還需要定期更換泵油、清洗泵體、檢查旋轉(zhuǎn)葉片和固定葉片等,保持泵的正常運(yùn)轉(zhuǎn)。